台式扫描电子显微镜（Phenom XL）

一、主要功能

台式扫描电镜主要用于金属、非金属、生物等各种实验样品的微观形貌表征和分析；仪器占用空间小 操作简便。广泛应用于金属、非金属、生物等样品表面形貌、组织结构的快速检测。

二、主要配置

1、光学放大系统及电子光学导航系统

2、背散射电子探测器及二次电子探测器

3、Prosuit操作系统及真空系统

4、六硼化铈(CeB6)灯丝

5、全自动国产喷金仪(ETD-800)

三、主要技术参数

1、仪器分辨率：二次电子探测器分辨率9nm（10kV），背散射电子分辨率10nm（10kV）；

2、放大倍数：光学显微镜放大倍数3~16倍，电子显微镜放大10万倍；

3、探测器观察模式：全面模式BSD Full(形貌和成分)和二次电子模式；

4、电镜加速电压：5～20kV；束斑大小：0～5.8。